電子制造業(yè)廠潔凈室檢測要求潔凈度等級、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范控制。另外，這類潔凈室對靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中，對濕度的要求更為嚴(yán)格。因?yàn)樵谶^于干燥的廠房內(nèi)容易產(chǎn)生靜電，會損壞CMOS集成度。一般來說，電子車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度應(yīng)控制在50-60之間（特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定）。此時，能有效消除靜電，讓人心情舒暢。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造潔凈室的重要組成部分。由于電子產(chǎn)品制造和生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量的嚴(yán)格要求，主要目的是控制顆粒物和浮塵。作為主要對象，對環(huán)境的溫濕度、新風(fēng)量、噪音等也有嚴(yán)格的規(guī)定。
1、電子制造廠萬級潔凈室噪聲級（空態(tài)）不應(yīng)超過65dB(A)。
2、電子制造廠潔凈室滿布比垂直流潔凈室不宜低于60，水平單向流潔凈室不宜低于40，否則會偏單向流。
3、潔凈室與電子制造廠房外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，潔凈區(qū)與不同空氣潔凈度的非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于或大于5Pa。
4、電子制造業(yè)萬級潔凈室新風(fēng)量取下列兩項中較大值：
(1)補(bǔ)償維持室內(nèi)正壓值所需的室內(nèi)排風(fēng)量和新風(fēng)量之和。
(2)潔凈室每人每小時新風(fēng)量不應(yīng)少于40立方米。
(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱器應(yīng)設(shè)有新風(fēng)和超溫斷電保護(hù)。如果采用點(diǎn)加濕方式，則無需設(shè)置水保護(hù)。在寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防凍保護(hù)措施。潔凈室的送風(fēng)量應(yīng)取以下三個較大值：保證電子制造廠潔凈室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量；根據(jù)熱濕負(fù)荷計算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量；房間內(nèi)供應(yīng)的新鮮空氣量。
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